随着半导体、微电子等行业的日新月异地快速发展，行业中蚀刻制程与化学气相沉积制程中产生的废气也在不断增加，特气系统中废气处理问题也慢慢成为一个不容忽视的问题，对其配套项目也提出了更高要求。