电子半导体行业研磨液输送专用furon系列高纯泵
摘要：SAINT-GOBAIN生产的Furon A2高纯泵具有100％的PFA/PTFE接液流体通路，并且不含金属零件或弹性体密封件，确保与好具腐蚀性的化学药品兼容使用。
SAINT-GOBAIN生产的Furon A2高纯泵具有100％的PFA/PTFE接液流体通路，并且不含金属零件或弹性体密封件，确保与好具腐蚀性的化学药品兼容使用。Furon A2泵的泵送速度范围为4 GPM至16 GPM。如需更高流速，圣戈班还可提供流速高达26 GPM且经久可靠的PFD4泵。针对研磨液可以选用Furon A2泵特殊配置确保好苛刻泵送条件下的可靠性。研磨液泵配有可防止颗粒物团聚和过早损坏并经过专门设计的波纹管。
型号如下：
A2CH1-F8
A2CH1-T8
A2CH2-F12
A2CH3-F16
A2CH3-T16
A2SY1-F8
A2SY1-T8
A2SY2-F12
A2SY2-T12
A2SY3-F16
A2SY3-T16
