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中国半导体卡脖子的源头之一——设备零部件
作者:    发布于:2021-05-02 22:18:19    文字:【】【】【】浏览 (1298)

                           中国半导体卡脖子的源头之一——设备零部件(风囊泵-高纯化学品输送)

      "追求中国电子信息产业的供应链安全和完整的本土生态体系是一个循序渐进的艰难历程,较初层级是芯片的自主开发和生产,进而衍生出对国产设备的需求。但事实表明,即使设备能国产也还不够。美国制裁中国晶圆制造企业,部分中国设备厂商也不得不屈从于美国禁令,其根源还是在关键零部件上依赖美国。零部件相比于设备整机而言市场规模不大,但确实是典型的以小制大的卡脖子环节。

      2020年,中国大陆晶圆线8吋和12吋前道设备零部件(parts)采购金额超过10亿美元。如果排除三星、海力士、台积电等境外厂商在中国大陆的产线,中国本土晶圆制造厂商约为4.3亿美元。中国晶圆制造厂商采购的设备零部件主要有石英(Quartz)、射频发生器(RF Generator)、各种泵(Pump等,占零部件采购金额的比重达到或超过10%。此外,各种阀门(Valve)、吸盘(Chuck)、反应腔喷淋头(Shower Head)、边缘环(Edge Ring)等零部件的采购占比也比较高。

     要解决半导体生产设备零部件卡脖子问题,首先要国内晶圆厂和设备厂同时高度重视,协同本土零部件厂商联合攻关。本土晶圆线要敢于给国产设备和零部件验证机会,切实发挥大生产线组织协调的作用。设备原厂要发挥连接两端的串联作用,积极主动推进对国产零部件厂商的认证并推荐给客户。"-----转载自网易头条

 

      上文中提到的各种泵,包括了高纯化学品输送的气动风囊泵。美国品牌和日本品牌的风囊泵均需用户审批资料,货期很长,有的甚至半年以上。而且随时有被美国断供的风险。

      而我司总代理的台湾DINO帝隆风囊泵目前已在众多客户中逐步得到产品认证,能很好地满足CDS设备、供酸设备、清洗设备,制绒设备等工艺要求。

      目前DINO帝隆风囊泵原产地是在台湾,不需要用户审批资料,正常交货期2-4周,我司也做了常规型号的库存,可以现货供应。真诚欢迎各大设备商和用户前来洽谈试用。

 

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