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上海奇穆实业有限公司
Shanghai Chim Industry Co., Ltd
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Furon系列高纯泵
电子半导体行业Slurr研磨液专用泵
 Furon® A2泵

基本参数

Furon A2高纯泵具有100%的PFA/PTFE接液流体通路,并且不含金属零件或弹性体密封件,确保与腐蚀性的化学药品兼容使用。Furon A2泵的泵送速度范围为4 GPM至16 GPM。如需更高流速,圣戈班还可提供流速高达26 GPM且经久可靠的PFD4泵。针对研磨液可以选用Furon A2泵特殊配置确保苛刻泵送条件下的可靠性。研磨液泵配有可防止颗粒物团聚和过早损坏并经过专门设计的波纹管。





Furon®PV系列泵

基本参数

卓越的性能以及更低的拥有成本– Furon PV系列泵基于处理半导体行业超高纯介质方面20年经验设计而成。

我们的泵不含金属零件。所有接液部件均由PFA和PTFE制成,甚至适用于泵送腐蚀性的化学药品。所有非接液组件均由高级工程热塑性塑料(如PEEK和ETFE)制成,从而提供更进一步的保护。这些特点让Furon PV系列泵成为半导体、光伏和化学加工行业应用的理想解决方案。

Furon PV系列泵通过两个水平对置的往复式波纹管进行气动操作。其具有自吸功能,易于安装和设置。此外,PV系列泵还采用了创新型往复阀固定技术,从而让我们能够提供三种不同的驱动系统满足客户需求。






AstiPureTM PFD泵是气动操作的:两个由TEFLON®制成的波纹管可水平往复运动。
它们的泵送频率远低于同等的隔膜泵,因此使用寿命更长。
由于波纹管泵的低频和高振幅,我们保证了较低的颗粒污染水平。
所有AstiPureTM PFD泵湿式部件均采用TEFLON®(PFA HP,PTFE和FEP)制造,
甚至适用于泵送腐蚀性强的化学药品(酸和溶剂)。
所有其他组件均采用高科技材料制造; 例如 PVDF和PEEK,即使发生波纹管故障,也确保没有化学物的离子污染。
我们的泵在洁净室中组装,用去离子水测试,清洗,然后用塑料袋双重密封。

特点与优势
•没有金属零件(内部或外部)。
•易于维护。
•没有旋转轴或压盖引起泄漏。
•气动(干燥的空气或氮)。
•可调的抽气速率高达2.5 GPM(10升/分钟)。
•自吸。
•适用于从32°F(0°C)至212°F(100°C)。
•紧凑的设计。


应用领域

•转移半导体工业中使用的超纯酸和溶剂。
•以受控的流量和体积进行再循环,分配和过滤。
•化学进样和采样。
•转移化学品和溶剂
•安全转移腐蚀性化学品和危险区域中的溶剂。
•转移和分配药品。





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